近日,联讯仪器硅光晶圆测试系统累计出货量突破100台,迎来其规模化应用的重要里程碑。
历经产品研发、方案验证到批量交付,联讯仪器硅光晶圆测试系统已应用于硅光晶圆研发、工艺验证及量产测试等场景,产品成熟度与规模化交付能力得到进一步验证。
硅光加速发展,晶圆测试迈向集成化
随着 AI 算力基础设施持续演进,高速光互连、硅光及CPO技术加快发展,硅光器件的集成度不断提升,产业也加速迈向规模化制造。晶圆级测试需要协同完成光学耦合、电学激励与测量,同时兼顾对准效率、耦合重复性、数据一致性及自动化能力,这对测试系统的软硬件集成提出了更高要求。
面向硅光器件研发验证、工艺开发及量产测试需求,联讯仪器推出硅光晶圆测试系统sCT9002。
sCT9002

系统兼容8英寸和12英寸晶圆,支持垂直耦合、边缘耦合,以及单光纤和光纤阵列测试,可覆盖纯光、纯电及光电混合测试场景。通过六轴位移平台、压电精密位移平台与高精度视觉系统的协同,系统的单边光学耦合时间可控制在1.5 s以内,耦合重复性小于0.2 dB(30次测试)。
同时,sCT9002采用模块化软硬件架构,可配置高密度板卡式源表,并集成多项常用硅光测试功能。该平台支持自定义算法与远程控制,并支持数据库及MES功能扩展,为硅光晶圆测试提供一体化、自动化的支撑。
百台交付,迈向更成熟的规模化应用
从前期方案验证到规模化批量交付,联讯仪器硅光晶圆测试系统已适配多类器件结构、耦合方案与测试流程,并在不同项目场景中落地应用。目前该系统累计出货突破100台,不仅意味着产品成熟度与规模化交付能力迈上新台阶,也充分体现了公司在研发设计、系统集成、生产制造、质量管控及技术服务各环节高效协同的综合能力。
百台出货这一里程碑的实现,离不开客户与合作伙伴的长期信任。基于实际测试需求和现场应用反馈,联讯仪器会不断优化系统性能、测试流程及交付服务体系,进一步提升硅光晶圆测试的效率、稳定性与自动化水平。
未来,联讯仪器将继续聚焦硅光、CPO及高速光通信等应用方向,强化从晶圆级、芯片级到模块级的光电测试能力,为硅光器件研发验证与规模化生产提供稳定、高效的测试支撑。
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