评价
产品简介
青岛芯笙MFC-S500系列气体质量流量控制器,采用公司自主研发的工业级流量传感器芯片,具有*的气体流道设计,可实现灵活的分流比配置,量程覆盖1sccm~120slm,最小控制精度为0.1sccm,0~50℃温度范围漂移量仅为0.4~0.6%。在电学信号方面,提供多种数字和模拟控制方式,并配备工业级显示屏,方便客户现场调试和配置。
详细介绍
新一代工业级流量传感器芯片与气路结构的结合
数字质量流量控制器:采用公司自主研发的工业级流量传感器芯片,结合低压损气路结构以及高精度数字控制电路和算法,实现宽温范围内的高精度、高稳定性、宽量程比控制。该产品配备现场调试屏及独立供电接口,适配半导体 、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境 。
基于科学家托马斯提出的“气体的吸热量或放热量与气体的质量流量成正比”理论发展而来。无气流时,以Heater为中心的温度场对称分布;有气流时,温度场分布发生偏移,导致上下游出现温差,通过测量该温差,即可推算出流过芯片表面的气体质量流量。
青岛芯笙MFC-S500系列气体质量流量控制器,具有*的气体流道设计,可实现灵活的分流比配置,量程覆盖1sccm~120slm,最小控制精度为0.1sccm,0~50℃温度范围漂移量仅为0.4~0.6%。在电学信号方面,提供多种数字和模拟控制方式,并配备工业级显示屏,方便客户现场调试和配置。
在线询价
该厂商的其他产品
- 全自动气体质量流量计哪家好
- 全自动气体质量流量控制器报价
- 供应热式气体流量控制器价格
- 芯笙气体流量计多少钱
- 国产风速计厂家
- 供应气体质量流量控制器s-300生产
- 国产环保流量控制器
- 热式气体流量计厂家
- 国产气体流量计批发
- 全自动气体流量控制器