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台阶仪
台阶仪集合了共焦光学形貌仪,WLI白光干涉形貌仪,原子力显微镜,接触和非接触式双模式表面形貌检测。
项 目 简 述 | 参数说明 |
1.共焦 |
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2.干涉仪(WLI) |
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3.原子力显微镜 |
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4.变焦 |
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1.共焦 |
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2.干涉仪(WLI) |
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3.原子力显微镜 |
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4.变焦 |
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