上海伊丰精密仪器有限公司
阅读:40发布时间:2020-7-8
激光干涉仪工作原理简介。激光干涉仪作为现代精密测量仪器的代表,已广泛应用于精密制造和计量等各个领域,在精密位移,直线度和垂直度等领域发挥着重要作用。确定激光干涉仪测量精度的关键因素是什么?
激光干涉仪简介。
激光干涉仪以光波为载体,具有测量精度高,测量速度快,测量范围宽,速度分辨率高的特点。光波的波长可以直接定义仪表并追溯到国家标准。因此,激光干涉仪广泛应用于精密仪器的质量控制和校准,如数控机床,PCB钻孔机,坐标测量机,位移传感器,以及研发,制造设备和其他领域。
使用激光干涉仪的用途。
激光干涉仪结合了不同的光学镜组,可实现几何参数的高精度测量,如线性长度,角度,直线度,垂直度,平行度和平直度的测量。
通过动态测量软件的组合,激光干涉仪可以动态测量和检测线性位移,角度和直线性能,以及位移,速度,加速度,振幅和频率的动态分析。
激光干涉仪的工作原理
激光干涉仪发射单频光束。光束撞击线性干涉仪并在镜子中分成两束光束。然后,两束光线被反射回分束器,后再次会聚到激光干涉仪。如果光程差不改变,激光干涉仪将在两极之间找到建设性和相消干涉的稳定信号。如果光程差改变,则计算这些变化并用于测量两个光路之间的差异。
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