探针是坐标测量机的一部分，主要是用来触测工件表面，使得测头的机械装置移位产生信号，触发并采集一个测量数据。一般来说，探针都是由一个杆和红宝石球组成，通过需要测量工件的特征，来判断使用的探针的类型和尺寸。
???术语：
???DK：探针直径
???L：探针总长
ML：工作长度
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为了保证一定的测量精度，在探针的选择上需要注意一下几点：
1.?探针长度尽可能短：探针接触工件表面后的弯曲或偏斜越大，则测量精度将越低，因此在测量时尽可能采用短探针，探针杆尽可能粗。
2.?连接点越少越好：每次将探针与加长杆连接在一起时，就会额外地造成潜在弯曲和变形，因此在使用过程中尽可能减少连接点。
3.?使用的测球尽可能大：测球和测杆的空隙大，这样可以减少由于“晃动"而误触发的可能；测球直径较大可削弱被测表面未抛光对精度造成影响。
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蔡司探针系列：
1.?球形测头/碳化钨杆
碳化钨杆经常使用在小直径测头上。
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2.?球形测头/ThermoFit杆
采用ThermoFit材质作为探针杆有很多优点：耐热稳定性，重量轻和高硬度。因此可以制成很长且重量很轻的探针。
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3.?扫描探针
是世界上已知坚硬的材料。使用探针测量是表面没有磨损，测量更加稳定和准确。由于探针磨损几乎没有，因此大大提高了测量效率。
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