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三维表面形貌测量仪IF-Sensor R25
三维表面形貌测量传感器IF-Sensor R25 是奥地利alicona公司专门针对生产中全自动测量形貌和粗糙度而设计的一款光学三维测量仪。
三维表面形貌测量传感器IF-Sensor R25 系 统
传感器与生产线相结合使得在测量微米和亚微米级别的表面特性时该设备可以提供高分辨率，可重复型和可溯源的结果。所测得结果的分辨率是传统2D测量和接触式测量所不能比拟的。
R25 优 势
在研发和生产过程中，自动变焦（Focus-variation)技术可以提供高分辨率、高重复性的测量结果。因此 R25为研发和生产提供了同一个测量流程平台。标准化界面(QDAS)支持生产中的简易快速整合，实现了生产线和实验室测量结果的对比。
R25的技术参数：
位移距离（Z）：26mm（自动调节）
zui大扫描高度：25mm
*垂直分辨率：20nm
zui小测量半径：2µm
zui小测量楔角：20°
zui小测量粗糙度(Ra):80nm
zui小测量粗糙度(Sa):50nm
zui大测量倾斜角：87°
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